晶圓可切割晶粒計(jì)算器 DPW(Die Per Wafer) Calculator
DPW是Die Per Wafer的縮略詞,用于表征單個晶圓上可切割晶粒的數(shù)量。晶圓可切割晶粒數(shù)(DPW)的計(jì)算是非常簡單的,它的計(jì)算實(shí)際上是與圓周率π有密切的關(guān)聯(lián)。
晶圓上的晶粒其實(shí)可以看作是圓形所能容納下的所有方形的集合。所以,可切割晶粒數(shù)的計(jì)算就是利用圓周率和晶圓尺寸作為已知參數(shù),確定出整體圓形區(qū)域能容量下的方形數(shù)量。
晶圓尺寸和晶粒尺寸雖然是已知的,但是,由于晶粒相互之間是有空隙(如預(yù)留的劃道)的,晶圓的邊緣去除區(qū)也不可用。這些因素使得計(jì)算變得稍微有點(diǎn)復(fù)雜和棘手。因此,把DPW(Die Per Wafer)工具的計(jì)算結(jié)果作為可切割晶粒估算值而非精確的計(jì)算值可能更準(zhǔn)確一點(diǎn)。
除了前面提到的無效區(qū)域外,晶圓廠還會額外占用部分區(qū)域做測試(PCM結(jié)構(gòu)),相對而言也會占用晶圓一小部分面積。另外還有劃道、晶圓裕量,以及因?yàn)楦鞴ば蛑g或晶圓廠之間要求不同而導(dǎo)致的測試結(jié)構(gòu)大小不一致而浪費(fèi)的區(qū)域。因此,如需精確的最終DPW數(shù)值應(yīng)直接向晶圓廠詢洽,他們具有更專業(yè)的方案提供DPW的準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。
我們這里提供Die We Wafer計(jì)算器,計(jì)算是基于以下公式:
DPW(Die Per Wafer) Calculator
晶圓可切割晶粒(DPW)計(jì)算器
請?jiān)谙卤碇休斎?晶粒的尺寸大小(長、寬) 以及垂直和水平方向劃道(Saw Street/Scribe Lane)的寬度值。 由于晶粒產(chǎn)出數(shù)量取決于晶圓直徑大小 和 邊沿去除區(qū)域大小(Edge Loss Area),輸入相關(guān)參數(shù)后,晶粒產(chǎn)出數(shù)和布局圖會自動刷新。 用戶可勾選布局圖居中 (裸芯片或者晶圓居中)。 利用Murphy Low的裸芯片產(chǎn)出數(shù)和缺陷密度模型,合格的良品裸芯片就會自動計(jì)算出并顯示在右側(cè)圖上方。
劃片參數(shù)設(shè)置 |
晶圓布局圖 |
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