薄膜淀積 可提供蒸發、磁控濺射等金屬膜淀積;以及化合物、氧化物、氮化物等多層薄膜淀積的服務 ■ 單 質:Au,Ag,Al,Co,Cu,Ta,Ti,W,Ge,Pt, Ru,Ni,Fe■ 氮化物:TiN,SiN,AlN,TaN,ZrN,HfN,WN,Poly?■ 氧化物:TiO2, HfO2, SiO2, LTO,SIPOS,ZnO,ZrO2, Al2O3,La2O3,SnO2■ 其它化合物:GaAs,AlP,InP,GaP,InAs,TEOS,LaHfxOy,SrTiO3,SrTaO6 失效性分析 英創力科技與業內科研院所實驗室建立良好的合作關系,可提供半導體器件的失效性分析服務。 ■ FIB 聚焦離子束■ Laser Decap 激光開蓋■ SEM 掃描電鏡■ TEM 透射電鏡■ AFM 原子力顯微鏡■ CSAM 超聲波掃描■ X-Ray X射線掃描 三維原子探針檢測 英創力科技與國內最先進的三維原子探針中心緊密合作,為客戶提供三維原子探針檢測服務。 三維原子探針(3DAP-Three Dimensional Probe)是一種納米尺度范圍內定量顯微分析法,通過對不同元素的原子逐一掃描分析,繪制出不同元素在樣品中的分布圖形,從而深入了解材料微小尺度結構的細節,獲得樣本準確的化學成分和三維形貌。半導體應用: