區熔硅片Float Zone Wafer是采用懸浮區熔法(Float Zone)長晶而成，亦稱區熔晶圓、FZ晶圓，是一種高純度的硅晶圓，可替代以CZ單晶直拉工藝而成的硅片。 與使用CZ直拉方法制造的晶圓相比，區熔法無需坩堝、生產過程負重小、不受熔點限制，因而區熔晶圓具有許多優點，使其成為太陽能組件、RF器件和精密功率器件等應用的理想選擇。 FZ晶圓的氧和碳雜質濃度較低，需要特地添加氮來改善其機械強度。