LatticeGear AX-420晶圓裂片系統
國際品牌、品質保障!
產品概述

Lattice Ax420是LatticeGear公司配置最高、性能最好的硅片裂片解決方案。 用戶受益于AX420超穩定的裂片工作平臺和高性能光學系統,能夠以非常高的精度和速度裂片。 AX420可用于潔凈室中裂片,目前已在全球范圍內多個納米技術實驗室中得到廣泛應用。
The Ultimate High Accuracy Indent and Cleaving System!
產品描述
Lattice AX420是LatticeGear公司推出的高性能的硅片裂片方案。 LatticeAx 420能在5分鐘內完成精度約為10μm的高精度裂片,這對于重視裂片速度和精度,同時還希望切割不同尺寸、厚度、材料的用戶是極為理想的選擇。具有專利的LatticeAX裂片平臺集成了一套完整的視覺系統:包括解析度高達4μm的單目顯微鏡、彩色CCD鏡頭、實時影像采集和顯示軟件,以及X-Y軸向平臺。該裂片工作臺的特殊設計能讓任何用戶都可以便捷上手使用,用來測量、對位、微切割、裂片和檢查已處理的樣品。
優點
- 高定位精度
- 樣品處理速度快
- 以較低的成本解決了樣品制備工具的瓶頸
- 采購成本低,無服務費用
- 滿足多種材料和尺寸大小不同樣品的裂片
- 簡單易用、機器小巧
特點
- 具有入門級Lattice AX120產品的所有功能
- 高達±10μm定位精度
- 機器小巧,卻具工業級作業平臺
- 具有粗調和細調的聚焦套件
- 配有彩色CCD攝像頭的單目、共焦和變焦鏡頭(.58-7X倍)的顯微鏡*
- 可以設置最小步進為5μm的定點裂片定位控制
- 配備有拋光金剛石壓頭(Indenter)
- 裂片全程不足5分鐘的超快工藝
- 配有裂片校準的刻度盤
*備注:視覺系統不包括電腦和顯示器
主要應用
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